日本ULVAC DA-30D/60S/DAT-50D/100S/DAU-100H膜片型干式真空泵 ULVAC机工生产的系列干式膜片型真空泵，是通过橡胶膜片的往返运动达到真空。 膜片型干式真空泵不同于G系列直联型油旋片式真空泵，无需油雾过滤，能保持环境清洁， 保养方便。
日本ULVAC DTC-21K/41K/DTC-60/DTC-120膜片型干式特氟龙真空泵 ◇各个接触排气气体的部件都有PTEE制成 ◇适用于腐蚀性气体或有机溶液 ◇真空度高，能抽至1000Pa
◇洁净真空 由于无油、不会返流至泵内，因此可以得到洁净的真空。 ◇低噪音、低振动 涡线管优良的平衡性，降低了噪音和振动。
当真空泵长时间运转至超过0.1Mpa时，排气口可能有油雾排出。安装油雾捕集器(OMT系列)，或油雾分离器(OMT系列)，能减少环境污染。
ULVAC机工的GHD系列直联型油旋片式真空泵，有以下优良配置：逆流防止阀、气镇阀、强制给油和过热保护装置。GHD系列真空泵外形小巧、低噪音、低振动，适合于内置式或桌面上使用。
